EBARA ESA25-D真空泵維修:
ESA系列是新研發(fā)的獨特干式真空泵,具有優(yōu)越的高速排氣性能,從而適應了LCD濺射制膜裝置,真空干燥制程,大型
L/L等工藝要求。并擁有高附加價值,對應氣體負荷自動控制轉(zhuǎn)速,高通信功能等。 ● *適用于大型真空反應室的高速排氣 ● 具有高性能通信機能 ● 轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能 ● 采用高度控制泵運轉(zhuǎn)方式 ● 采用大口徑轉(zhuǎn)子,設計上上乘小型 ● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運性能降低 ● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規(guī)格
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