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產(chǎn)品資料

愛德華二手泵IH1000 MK5真空泵銷售維修

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簡單介紹

Edwards 上等半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照*高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)*大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。 iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。


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