蘇州曼特萊真空科技有限公司為您介紹由哪幾部分組成中央真空系統(tǒng)?
中央真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前,該系統(tǒng)廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。
真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
工作流程:啟動系統(tǒng),主真空泵組開始工作,直到真空罐內真空度達到設定的上限值,真空泵自動停止運行,中央真空系統(tǒng)內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時,備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復,真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源,滿足生產的要求。
真空系統(tǒng)自啟動后,全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中,真空系統(tǒng)內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許范圍內上下波動,其波動范圍可根據(jù)用戶要求進行調整。
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